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晶圓劃片機主軸轉速對刀片壽命及切割品質的影響
發布時間:2023-03-20 點擊數:2388

★ 前言 ★


 在晶圓劃切過程中,不僅需要選擇適合的劃片刀,而且要關注加工條件的優化。合適的劃片刀和合適的加工條件,對于獲得滿足工藝要求的切割效果都起著至關重要的作用。

 加工條件主要涉及以下兩個方面:


什么是主軸轉速?

刀片固定在精密切割設備主軸上,并以非常高的速度旋轉。主軸轉速通常在每分鐘10,000至60,000轉之間。刀片旋轉速度是影響切割效果的關鍵因素之一。


需要注意的是,在相同轉速下,刀片外徑不同,外圓線速度也是不同的。刀片外徑越大,外圓線速度越大,如下圖所示:


不同的刀片外徑為了獲得相同的外圓線速度,必須調整轉速,以保證切割質量及穩定性。

主軸轉速對刀片壽命的影響

當主軸轉速增加時,刀片的切割能力提高,金剛石的加工負荷減少,從而提高了刀片壽命,同時降低了被切產品正面崩邊產生的風險。另一方面,金剛石加工負荷減少會阻礙刀片自銳,這往往導致被切產品背面崩邊發生率的增加,此時降低主軸轉速,加速刀片自銳,就是減少被切產品背面崩邊發生率的有效措施之一。






主軸轉速對切割品質的影響

不同主軸轉速下的正面和背面崩邊尺寸的變化

不同主軸轉速下的正面崩邊尺寸的變化

不同主軸轉速下的背面崩邊尺寸的變化

相同切割條件下,主軸轉速越高被切產品正面崩邊尺寸越小,背面崩邊尺寸越大。

不同主軸轉速下的正面切割刀痕變化 

主軸轉速:44500 

 主軸轉速:56000

相同切割條件下,主軸轉速越高,刀片蛇形切割的發生概率越高。


為了使被切產品保持良好的正面和背面切割質量表現,并達到預期的使用壽命,需要選擇一個主軸轉速平衡點。

主軸轉速與加工質量的平衡點

由于主軸轉速對正面、背面崩邊尺寸和刀片壽命均有影響,因此有必要根據被切產品、刀片規格和加工質量標準對主軸轉速進行平衡選擇。

主軸轉速與加工質量的平衡點


以上是主軸轉速對切割品質及切割壽命的影響,下期我們將講述進給速度的影響。



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