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    選刀還需關注加工條件
    發布時間:2022-08-16 點擊數:1064

    在晶圓劃切過程中,不僅需要選擇合適的劃片刀,而且要關注加工條件的優化。合適的劃片刀和良好的加工條件,對于獲得好的切割效果起著至關重要的作用。


    上期我們已經分析劃片刀選型的幾個關鍵因素,本期關注加工條件的影響。


    加工條件主要涉及以下幾個方面:


    • 主軸轉速

    • 進給速度

    • 冷卻水


    主軸轉速

    刀片固定在劃片機主軸上,以非常高的速度旋轉,通常在每分鐘25000至60000轉之間,這就是我們通常所說的主軸轉速。主軸轉速是影響切割效果的關鍵因素之一。


    在相同轉速下,刀片外徑不同,外圓線速度也不同。不同外徑的刀片為了獲得相同的外圓線速度,必須調整主軸轉速,以保證切割質量及穩定性。


    當主軸轉速增加時,金剛石的加工負荷減少,從而提高刀片壽命,同時降低了被切產品正面崩邊產生的風險。但是,金剛石加工負荷減少會阻礙刀片自銳,導致被切產品背面崩邊發生率的增加。


    降低主軸轉速,加速刀片自銳,是減少被切產品背面崩邊發生率的有效措施之一。


    相同切割條件下,主軸轉速越高,被切產品正面崩邊尺寸越小,背面崩邊尺寸則越大,刀片蛇形切割的發生概率也越高。 


    為了使被切產品保持良好的切割質量,并達到預期的使用壽命,有必要根據被切產品的材料情況、刀片規格和加工質量要求對主軸轉速進行合理選擇。


    進給速度

    在切割過程中,我們移動臺盤來實現切割速度的變化(1-300mm/s)。大家都知道工廠生產中,效率意味著成本。切割速度越高,效率越高。但是往往切割速度越高,刀片負載越高,切割品質會越差。因此優化切割速度實現高效率高品質的生產至關重要。


    高進給速度下,每顆金剛石的負載也會增加,對崩邊產生較大影響,同時,進給速度會影響刀片壽命。


    進給速度越慢,背崩尺寸越小,刀片壽命越長。相反,進給速度越快,背崩尺寸越大,刀片磨損加大,刀片壽命也就越短。


    冷卻水

    由于在劃切中主軸高速旋轉,在切割材料時,刀片與材料的接觸處會產生很高的溫度,穩定的劃切冷卻水流量,不僅在劃切過程中可以起到冷卻刀片的作用,還可以防止電擊、電弧現象發生,同時沖掉劃切過程中碾碎的碎粒,減少芯片表面的碎屑污染,提高劃切品質。


    劃切冷卻水,主要采用去離子水,可根據產品需要增加特殊附件,例如二氧化碳氣體,以改變水質電阻值等。 


    冷卻水的流量和溫度達到穩定時,劃切品質才能達能最佳。冷卻水流量的調節,包括噴嘴方向、高低、流量大小的調節。只有保證了足夠的冷卻效果,才能有效控制劃切崩裂。


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