行業內將傳統晶圓劃片機刀片一般分為軟刀和硬刀兩種。有時候也被稱作砂輪片。
劃片機刀片,可用于各種晶圓、半導體封裝基板、陶瓷、玻璃等硬脆材料。其工作原理如下圖所示,金剛石顆粒在高速旋轉下,將被切割材料擊碎,切割水同時將碎屑排走,從而達到切割的目的。
但是,不要看字面意思就誤解為軟刀很軟,硬刀很硬。實際上軟刀和硬刀都是以金剛石為主要切割材料,以下簡要描述了兩種刀的區別和特點。
1.外觀的差異
一般來說,圓形薄片砂輪片稱為軟刀,而將砂輪片與鋁合金刀架相結合的砂輪片稱為硬刀。
2.結合劑的差異
砂輪片主要由金剛石磨料和粘合劑組成。軟刀的粘合劑一般為金屬鎳合金、金屬銅合金或者樹脂,而硬刀的粘合劑一般只有金屬鎳合金。
3.制作工藝的差異
制造軟刀時,其成型方法一般包括電鑄成型、粉壓燒結或粉壓加熱固化成型,而硬刀一般采用電鑄成型。
4.使用方法的差異
使用軟刀時,必須定位并固定在專用刀盤(或法蘭盤)上,然后安裝在專用切割機上。使用硬刀時,無需刀盤即可直接安裝在專用切割機上。
5?常用規格的差異(以下單位為mm)
軟刀外徑:52、54、56、58、76、78、100、117等
硬刀外徑:55.55
軟刀內徑:通常為40,也有個別非常規劃片機上所用的劃片刀,內徑為10、88.82等
硬刀內徑:19.05
軟刀厚度:0.04~1.5
硬刀厚度:0.015~0.150
6?加工對象
軟刀:陶瓷、玻璃、藍寶石、鐵氧體、鈮酸鋰單晶等各種半導體封裝材料
硬刀:各類晶圓